擴散矽壓力變(biàn)送器分普通和智能型兩種,廣泛應用於(yú)石油、化工、鋼鐵、電力、建材、紡織、制藥、食品、氣體、科學實驗等各個領域,實現對各工藝點壓力的計量、監視和控制。
擴散矽(guī)壓力變(biàn)送器工作原理:
擴散矽壓力變(biàn)送器通過壓力傳(chuán)感器把壓力信号變(biàn)爲電信号,再由前置放大器把此電信号放大濾波,送往CPU的A/D 轉換模塊進行模拟量到數字量的變(biàn)換,後(hòu)由CPU進行數據處理並顯示及PWM輸出。原理框圖如下:
被側介質--->傳感器--->電子線路--->輸出信号
被測(cè)介質的壓力直接作用於(yú)傳感器的陶瓷/擴散矽膜片/上,使膜片産(chǎn)生與介質壓力成正比的微小位移,正常工作狀态下,膜片最大位移不大於(yú)0.025毫米,電子線路檢測(cè)這一位移量後,即把這一位移量轉換成對應於(yú)這一壓力的标準工業測(cè)量信号。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散矽(guī)上,由於(yú)膜片與基體的間隙隻有0.1毫米,因此過(guò)壓時(shí)膜片的最大位移隻能是0.1毫米,所以從結構上保證瞭(le)膜片不會産生過大變(biàn)形,該傳感器具有很好的穩定性和高可靠性。
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